半導体デバイス寿命は、この微細加工や新材料に依存するため、より過酷な寿命加速条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。
この寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、デバイス寿命を導くために必要なパラメータを求める解析ソフトを搭載。
「エレクトロマイグレーション評価システムAEM―2000」は、先端評価から生産管理まで幅広くご使用いただけるよう、操作性・信頼性・データ解析の容易さを高め、評価ニーズに的確にお応えするシステムです。
ストレス電流源 | 出力範囲 | +DC0.1mA~200mA |
追従電圧 | 35V | |
Extrusion用 試験電圧 | 出力範囲 | -10.0V~-1.0V及び1.0V~20.0V |
精度 | ±(設定値の2%+20mV) | |
オーブン | 温度制御範囲 | +65~+400℃ |
温度変動幅 | ±0.5℃(+65~350℃) | |
温度分布 | ±3.5℃(at300℃) | |
装備品 | N2ガス導入孔 |
型式 | AEM―240C3S AAA | AEM―160C2S 0AA | AEM―080C1S 00A | |
EMモジュール 出力電流 | オーブン1 | 200mA | 200mA | 200mA |
オーブン2 | 200mA | 200mA | - | |
オーブン3 | 200mA | / | ||
評価チャンネル数 | 240ch | 160ch | 80ch | |
DUTボード | 設置枚数 | 24(8×3オーブン) | 16(8×2オーブン) | 8 |
ICソケット | 1ボードにつき各5(DIP 28-pin 600 mil and 300 mil共有) |